Forbedrer MEMS trykksensorer

Kjernen i den nye sensoren MLX90830 er Melexis’ patenterte Triphibian-teknologi, som ikke bare lar MEMS-sensoren (Micro-Electro-Mechanical System) gi nøyaktige målinger langt over 5 bar, men også når den er i kontakt med væske. Denne kombinasjonen av høytrykksføling mens den er kompatibel med gass og væske, oppnås ved den spesielle konstruksjonen til MLX90830. Følermekanismen inneholder en opphengt utkraging på innsiden av en SO16-pakke, med membranen i spissen.

Sensorens suspenderte utkragingsutforming gir trykktoppimmunitet på opptil 2000 bar/ms og statisk burstnivå på opptil 210 bar. De to tilgjengelige kalibrerte områdene (10 eller 35 bar) er hver skreddersydd for å oppfylle kravene til et distinkt termisk styringssystem for elektriske kjøretøy, inkludert lav-/høytrykk kjølesløyfer.

MLX90830s design er av natur mer robust enn bakside-eksponerte løsninger, som fortsatt opplever en trykkforskjell mellom glassokkelsiden og trådbondingssiden. Trykkutjevningsprinsippet er også gyldig for frosne medier, noe som gjør at MLX90830 kan overleve under slike forhold, som det første for MEMS trykksensorer.

Komponenten inkluderer en sensoravlesningskrets, digital maskinvare, spenningsregulatorer og analoge utgangsdrivere. Piezo-resistive elementer implantert i membranen skaper en Wheatstone-bro for å generere et utgangssignal. Dette signalet forsterkes og konverteres til et digitalt format, slik den 16-bits digital signalprosessoren (DSP) kan bruke temperaturkompensasjon før resultatet leveres som en analog utgang.